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.二氧化硅光波导的建造工艺玻璃光波导的建造工艺如所示，全部工艺分为五步：1)在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子互换时的掩模层，如（b）所示；2)停止光刻，将须要的波导图形用光刻胶掩护起来，如（c）所示；3)接纳化学侵蚀，将波导上部的铝膜去掉，如（d）所示；4)将做好掩模的玻璃基片放入含Ag+－Na+离子的夹杂溶液中，在恰当的温度下停止离子互换，如（e）所示，Ag+离子晋升折射率，获得如（f）所示的沟道型光波导；5)对沟道型光波导施以电场，将Ag+离子驱向玻璃基片深处，获得埋葬型玻璃光波导，如（g）所示。松滋耐火菠菜
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.玻璃光波导的建造工艺3.立体光波导的利用铌酸锂晶体具备杰出的电光特征，在电光调制器中利用普遍。
InP资料既能够建造光有源器件又能够建造光无源器件，被视为光有源/无源器件集成的最好平台。
SOI资料在MEMS器件中利用普遍，是光波导与MEMS夹杂集成的良好平台。
聚合物波导的热光系数是SiO2的32倍，利用在须要热光调制的静态器件中，能够大大下降器件功耗。
