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二氧化硅光波导入的以硅单晶为称底，以不一样同化的SiO2材聚合物波导以硅片为称底，以差别搀杂浓度的Polymer资料为芯层，波导布局为埋葬矩形。泉州公用菠菜
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玻璃波导是经由过程在玻璃资料上分散Ag离子构成波导，波导布局为分散型。
2.立体光波导工艺以上六种经常使用的PLC光波导资料中，InP波导、二氧化硅波导、SOI波导和聚合物波导以刻蚀工艺建造，铌酸锂波导和玻璃波导以离子分散工艺建造，上面别离以二氧化硅波导和玻璃波导为例，先容两类波导工艺。
二氧化硅光波导的建造工艺如所示，全部工艺分为七步：1)接纳火焰水解法（FHD）或化学气相淀积工艺（CVD），在硅片上发展一层SiO2，此中搀杂磷、硼离子，作为波导下包层，如（b）所示；2)接纳FHD或CVD工艺，鄙人包层上再发展一层SiO2，作为波导芯层，此中搀杂锗离子，取得须要的折射率差，如（c）所示；3)经由过程退火软化工艺，使后面发展的两层SiO2变得致密平均，如（d）所示。
